從比阻抗值來推估超純水中的離子含量時(shí)，首先應(yīng)注意比阻抗計(jì)的靈敏度。例如，當(dāng)比阻抗值由 18.2 MΩ．cm 變?yōu)?18.0 MΩ．cm 時(shí)，這意味著溶液中產(chǎn)生相當(dāng)于 0.36 ppb (μg/L) 的離子濃度變化。也就是，比阻抗計(jì)的靈敏度應(yīng)為 ppb 層級(jí)。但是，離子層析與ICP-MS等高靈敏度分析儀器，其檢測結(jié)果卻會(huì)受到超純水中 ppt (ppb 的 1/1000) 層級(jí)的離子濃度影響。此外，除以比阻抗值來進(jìn)行水質(zhì)管理外，也應(yīng)定期進(jìn)行超純水系統(tǒng)的維護(hù)與離子交換樹脂桶及活性碳匣的更換。  
1996年，美國藥典（USP）在增加的第5修正補(bǔ)述中，對(duì)于相關(guān)水質(zhì)的規(guī)定，使用未經(jīng)溫度修正的比阻抗值，所以對(duì)不同溫度下，水質(zhì)應(yīng)有不同的比阻抗值加以檢測與訂定。因此，純水與超純水系統(tǒng)至少也需要有溫度校正值的顯示才可以。